Paddle Silicon Carbide Cantilevers
Produk terperinci dan aplikasi
Daya muat wafer besar silikon karbida SiSiC / SiC kantilever dayung / rasuk sesuai untuk sistem pemuatan dan pengendalian automatik robot kerana mempunyai prestasi yang stabil, tidak ubah bentuk pada suhu tinggi dan daya muat wafer yang besar. Oleh kerana bahagian dayung kantilever stabil tanpa ubah bentuk, mungkin membuat wafer bersaiz lebih besar menggunakan tiub relau yang ada. Dayung / balok kantilever SiSiC / SiC karbida kekuatan pemuatan wafer yang besar dapat digunakan pada LPVCD berdasarkan pekali pengembangan haba yang serupa dengan lapisan LPVCD, yang sangat memanjangkan kitaran penyelenggaraan dan pembersihan, dan mengurangkan pencemaran dengan ketara.
Parameter teknikal silikon karbida terikat reaksi RBSIC:
| barang | unit | data |
| Suhu aplikasi | ℃ | 1380 |
| ketumpatan | G / cm3 | > = 3.02 |
| Keliangan terbuka | % | <0.1 |
| Skala Kekerasan Moh | 13 | |
| Kekuatan lenturan | Mak | 250 (20 ℃) |
| Mak | 280 (1200 ℃) | |
| Modulus keanjalan | Gpa | 330 (20 ℃) |
| Gpa | 300 (1200 ℃) | |
| Kekonduksian terma | W / mk | 45 (1200 ℃) |
| Pekali pengembangan haba | K-1 * 10-6 | 4.5 |
| Beralkali asid | Cemerlang |
Ciri-ciri:
a. Ia tidak berubah pada suhu tinggi dan daya muat wafer besar;
b. Ketahanan kejutan terma yang sangat baik dan jangka hayat yang panjang;
c. Pekali pengembangan haba dayung kantilever sangat kecil, yang sangat memanjangkan kitaran penyelenggaraan dan pembersihan;
dan mengurangkan pencemaran secara drastik
Perabot tanur lain yang dibuat oleh seramik silikon karbida
Selain dayung SiSiC cantilever paddle Reaction sintered untuk pemuatan wafer, kami juga menghasilkan perabot tanur lain termasuk RBSIC / SISIC silikon karbida rasuk, tiub muncung, tiub muncung spiral, tabung muncung pusar, keluli karetida SIC terikat oksida / plat setter dan paip penyejuk RBSIC .
Pakai produk RBSIC / SISIC silikon karbida tahan
Kerana produk RBSIC / SISIC silikon karbida kami mempunyai kelebihan ketahanan aus yang sangat baik, ketahanan kakisan dan jangka hayat yang panjang, ia juga boleh dijadikan lapisan tahan haus yang dapat dipasang dengan mudah dalam memproses paip atau siklon.
